专利领域分布
| 技术领域 | 专利数量 | 核心技术 |
|---|---|---|
| 晶体生长技术 | 18项 | 大尺寸晶体生长工艺、温度控制 |
| 衬底加工技术 | 22项 | 切割、研磨、抛光工艺优化 |
| 表面处理技术 | 12项 | 图形化工艺、清洗技术 |
| 检测分析技术 | 8项 | 缺陷检测、质量控制 |
| 设备设计 | 11项 | 生长炉、加工设备结构设计 |
核心专利示例
- 大尺寸蓝宝石晶体生长方法及装置
- 6英寸蓝宝石衬底超精密抛光工艺
- 图形化蓝宝石衬底图案设计及制造方法
- 碳化硅晶体生长温度场控制技术
- 半导体衬底缺陷检测系统
63项核心专利，构建技术护城河
涵盖晶体生长、衬底加工、表面处理等核心技术
| 技术领域 | 专利数量 | 核心技术 |
|---|---|---|
| 晶体生长技术 | 18项 | 大尺寸晶体生长工艺、温度控制 |
| 衬底加工技术 | 22项 | 切割、研磨、抛光工艺优化 |
| 表面处理技术 | 12项 | 图形化工艺、清洗技术 |
| 检测分析技术 | 8项 | 缺陷检测、质量控制 |
| 设备设计 | 11项 | 生长炉、加工设备结构设计 |